沸石转轮中VOCs残留的处理方法，目前对VOCs的末端处理方法包括冷凝、吸附、氧化、生物处理、吸收、等离子体净化等。我国防治VOCs的要求和力度逐步加强，沸石旋转吸附浓缩法处理低浓度废气成为许多企业的首选处理方案。在使用过程中，挥发性有机化合物残留在转轮中，会导致沸石转轮劣化，降低处理效率。如何避免和处理这样的情况？为了减少沸石转轮设备中挥发性有机化合物的残留，应改善挥发性有机化合物废气的入口质量，提高脱附效率。

　　废气预处理措施通常包括除尘、除湿、除雾、除高沸物等。根据待处理VOCs废气的实际情况，选择合适的废气预处理措施。比如半导体的制造工艺对生产现场的颗粒物有严格的要求，一般都是清洁车间。因此，有机废气中颗粒物的含量很小，通常不需要除尘预处理。

　　1.废气预处理

　　芯片制造生产过程中使用的主要有机原料通常具有低沸点和挥发性的特点，但仍不排除少量高沸点物质，如汽提液的主要成分二甘醇胺(沸程218~224℃)。在高沸点物质的处理过程中，可以增加冷凝、前期活性炭吸附等预处理装置，避免VOCs废气中难以脱附的高沸点物质进入沸石转轮。高沸点的VOCs进入废气管道后容易冷凝，从而增加废气的湿度。

　　2.用高压空气吹扫

　　在停机、检查和维护期间，用高压空气吹扫沸石转轮。但高压空气吹扫只能去除附着在沸石转轮表面的灰尘，而VOCs有机物通常吸附在分子筛孔隙中，无法有效去除，需要配合上述其他处理方法进行选择。

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