A章总则

第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。

第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。

第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。

第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。

第二章空气洁净度等级

第2．0．1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。

空气洁净度等级 表2.0.1

等 级 每立方米(每升)空气中

≥0.5微米尘粒数 每立方米(每升)空气中

≥5微米尘粒数

100 级 ≤35×100(3.5) 　

1000 级 ≤35×1000(35) ≤250(0.25)

10000 级 ≤35×10000(350) ≤2500(2.5)

100000 级 ≤35×100000(3500) ≤25000(25)

注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。

第2．0．2条洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定

第三章 总体设计

第3．2．1条 工艺布置应符合下列要求：

一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室。

二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区人口处宜布置空气洁净度等级较 低的工作室。

三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置。

四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口。

五、应设置单独的物料人口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。

第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。

一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。

二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者。

三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。

第3．2．3条洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及 净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。

第3．2．4条洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。

第3．2．5条 洁净厂房内各种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、各种管线等)的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。

第三节 噪声控制

第3．3．1条洁净室内的噪声级，应符合下列要求：

一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。

二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。

注：（1）由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；

（2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。

第3．3．2条洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。

第3．3．3条洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。

第3．3．4条洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。

第3.3.5条净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。

除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。

第3．3．6条净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：

一、总风管为6～10米/秒。

二、无送、回风口的支风管为6～8米/秒。

三、有送、回风口的大风管为3～6米/秒。

第3．3．7条洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。

第四节 振动控制

第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。

第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。

第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。

第五章空气净化

第一节 一般规定

第5．1．1条洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：

一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。

二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。

第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。

第5．1．3条洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：

一、满足生产工艺要求

二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度。

第5．1．4条洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值；

一、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。

二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

第5．1．5条洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。

第5．1．6条在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。

第二节洁净室正压控制

第5．2．1条洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于4.9Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于9.8Pa。

第5．2．2条洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

Q＝q1Σ（qL） （5.2.2）

式中 Q––维持洁净室正压值所需的正压风量(米3/时)；

a––根据围扩结构气密性确定的安全系数，可取1.1～1.2；

q––当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量(米3/时米)；

L––围扩结构的缝隙长度(米)。

第5．2．4条送风、回风和排风系统的启闭联锁。系统开启时，联轴和序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。

第5．2．5条非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。

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