从目前来看，湿度发生器主要利用一下五种原理。

原理：气体在加压状态下被水汽饱和然后减压膨胀。假如气体在饱和、膨胀过程温度保持恒定，并服从理想气体定律，那末由道尔顿定律可得到如下关系式：

U=(Pc/Ps) * (ew(Ts)/ew(Tc)) * 100

U=(ew(Ts)/ew(Tc)) * 100

在 Ps 和 Pc 不一致时，特别是在气流速度较高的情况下，就需要考虑进行压力修正，

U=(ew(Ts)/ew(Tc)) * (Pc/Ps) * 100

基于两个温度原理设计的密闭式湿度发生器有多种不同的结构形式。

低霜点湿度发生器是一种专门用于低湿领域校正的能够发生水汽含量低至 ppm 级（即低于百万分之一）气体的设备。

原理：干气源（一般是干空气）的气体按一定的比例分成两部分，一路进入饱和器 S ，被饱和的气流在混合室 C M 中同另一股干气混合，而后进入试验腔 C T ，A后排入大气。饱和器、混合室和试验腔浸在同一个恒温槽中。

计算试验腔中相对湿度的公式：

U=100 * X / [1-(1-X) es/Ps ]

q=-D*S * (dP/dB)